氧化鋯氧分析儀被測氣體(煙氣)通過傳感器進入氧化鋯管的內側，參比氣體(空氣)通過自然對流進入傳感器的外側，當鋯管內外側的氧濃度不同時，在氧化鋯管內外側產生氧濃差電勢(在參比氣體確定情況下，氧化鋯輸出的氧濃差電勢與傳感器的工作溫度和被測氣體濃度呈函數對應關系)該氧濃差電勢經顯示儀表轉化成與被測煙氣含氧量呈線性關系的標準信號，供RHO儀表顯示和輸出。
氧化鋯氧分析儀的常見故障以及解決辦法
1系統檢修
氧量變送器若出現氧量指示為零或無氧量信號，這時應首先檢查氧量信號線路是否斷開，若線路正常，則應檢查鋯頭是否正常。在750℃測探頭內阻，若內阻大于1KΩ，證明探頭已老化，需更換鋯元件或探頭，若內阻小于800Ω，證明接線開路，逐一檢查處理。
2恒溫系統故障
1 )若出現池溫上不去,則應檢查加熱爐內阻絲是短路還是斷路.正常的加熱爐絲電阻約為140Ω,若用萬用表測得電阻絲開路或阻值小于80Ω,則應更換加熱爐絲。
2) 當出現池溫過高及溫度失控時，這不僅使氧量顯示不準，而且會加速鋯頭老化或鋯頭燒壞，這時應立即檢查熱偶是否斷路或連線是否開路，方法是用萬用表檢查熱偶，電阻若大于20Ω，則判斷為熱電偶斷路，需更換熱電偶及鋯頭；溫度失控的另一個原因是：繼電器或溫控電路故障，因為繼電器、溫度電路故障會使氧量變送器始終給加熱爐一加熱電壓，從而造成溫度升高。
3鋯元件故障
1) 使用一段時間的探頭，鋯元件引線的轉接處可能由于氧化而接觸不良或松動，這是會使Em值(用萬用表量)時大時小，時好時壞，處于不穩定狀態，觀察鋯元件后做相應處理。
2) 當出現氧量信號偏差太大或不準確時，則有可能是氧化鋯電極短路，這時應檢查氧化鋯電池連線是否短接。在未升溫時，內阻若小于50Ω，證明電極短路，須更換鋯頭。
3)若在運行過程中，出現本底電勢大于10mV或小于-30mV，則須對氧量測量裝置用標氣重新標定，標定完后若本底電勢仍然異常，則說明探頭已老化，不能再使用了。
4氣路方面的故障
1)氧化鋯鋯頭堵灰，造成參比氣不流通，其結果會使探頭的輸出電勢Em變小，本底電勢Eo變大，這時用洗耳球對準探頭的空氣入口處吹若干次，解決導氣管堵塞之后，上述現象即可解決。
2)鋯元件堵灰：應取出探頭消除灰堵，重裝過濾器。
3)探頭漏氣對探頭影響極大。
5甲乙側氧量偏差大
在調整鍋爐燃燒工況，啟停鍋爐風機或磨組時，若出現兩側氧量偏差大，屬正常現象，待鍋爐燃燒工況穩定后，氧量指示會恢復正常。若機組無任何調整出現兩側偏差大就需要檢查鋯頭工作是否正常，將變送器拆會進行校驗檢查。設備都正常要求運行人員對氣體流量進行調整。氣體和參比氣體都應不斷的流過電極，不停止也*。但流量過大會起冷卻作用，使電池溫度不均，造成誤差。過小的流量除易形成氣流停滯和死區外，還可能因氧離子的傳導而改變局部區域的氧濃度，從而影響準確測量，使兩側形成偏差。
6現場干擾引起故障：
由于電磁場較強，對新安裝儀表的不穩定故障，應首先考慮干擾的可能性。
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